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知識產(chǎn)權(quán)釋放高效價值,高頻科技超純工藝助力半導(dǎo)體發(fā)展“芯”征程

2025-01-07 10:38:23來源:今日熱點網(wǎng)

在數(shù)字化、網(wǎng)絡(luò)化、智能化引領(lǐng)的新一輪科技革命與產(chǎn)業(yè)變革不斷深化的背景下,半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)正迎來前所未有的發(fā)展機遇。超純水作為半導(dǎo)體行業(yè)重要一環(huán),不僅保障了芯片制造的精度與可靠性,更推動了整個產(chǎn)業(yè)鏈向更高質(zhì)量、更可持續(xù)的方向發(fā)展。高頻科技,作為一家聚焦于芯片制造等電子核心產(chǎn)業(yè)的超純水系統(tǒng)供應(yīng)商,不斷以科研創(chuàng)新為驅(qū)動,推進(jìn)超純工藝升級,助力行業(yè)發(fā)展邁向新高度。

超純技術(shù)突破,為半導(dǎo)體制造提供高品質(zhì)解決方案

在芯片過程中,超純水被廣泛應(yīng)用于清洗、蝕刻、沉積、光刻等多個關(guān)鍵步驟。一旦超純水中的雜質(zhì)含量超標(biāo),將對半導(dǎo)體器件造成嚴(yán)重影響。比如TOC(總有機碳)過量可能導(dǎo)致晶圓表面污染,從而引發(fā)缺陷;硼過量會使n型硅反轉(zhuǎn),從而影響電子和空穴的濃度,進(jìn)而影響到硅材料的導(dǎo)電性能。因此,半導(dǎo)體企業(yè)對超純水水質(zhì)的要求非常嚴(yán)苛,無形中提升了超純水工藝的技術(shù)門檻。

在此背景下,高頻科技作為本土超純水行業(yè)的代表性企業(yè),依托資深技術(shù)團隊的力量,通過不懈的研發(fā)投入和工藝探索,公司超純水系統(tǒng)制備的超純水純度可達(dá)ppt級別,離子含量僅萬億分之一,從而打破了國際廠商對國內(nèi)超純水系統(tǒng)高端市場的壟斷。公司不僅成為國內(nèi)極少數(shù)能夠在芯片領(lǐng)域提供超純水系統(tǒng)的企業(yè),更是國內(nèi)首家擁有12英寸14nm芯片產(chǎn)線超純水制備能力的系統(tǒng)供應(yīng)商。

作為國家級專精特新“小巨人”企業(yè),高頻科技始終秉承技術(shù)創(chuàng)新為核心驅(qū)動力,持續(xù)深化知識產(chǎn)權(quán)布局。截至目前,公司已累計獲得70余項知識產(chǎn)權(quán)成果,包括發(fā)明專利、實用新型專利、軟件著作權(quán)等。未來,高頻科技將進(jìn)一步加快技術(shù)創(chuàng)新步伐,為推動自身高質(zhì)量發(fā)展提供更強有力的知識產(chǎn)權(quán)支撐,并為行業(yè)提供更高品質(zhì)的超純水產(chǎn)品及解決方案。

技術(shù)創(chuàng)新,賦能半導(dǎo)體可持續(xù)發(fā)展

面對降本增效的發(fā)展需要以及全球范圍內(nèi)日益嚴(yán)格的環(huán)境法規(guī),半導(dǎo)體行業(yè)正邁向綠色、可持續(xù)發(fā)展。高頻科技深入研究和開發(fā)廢水處理及回用技術(shù),顯著提高了水資源利用效率,有效支撐了節(jié)水和降本增效目標(biāo)的實現(xiàn),為半導(dǎo)體企業(yè)的轉(zhuǎn)型升級和持續(xù)發(fā)展提供了堅實的技術(shù)保障。

具體而言,高頻科技憑借先進(jìn)的電子級廢水處理技術(shù),高效、經(jīng)濟地處理超過15種芯片廢水,并實現(xiàn)深度去除污染物;同時通過前瞻的設(shè)計能力和精細(xì)化的水資源管理,對30多道制程廢水進(jìn)行分流和回收,并搭配適合的設(shè)備及工藝使其得到更佳處理效果,確保了高達(dá)90%的整廠用水制備回收率,在確保水質(zhì)達(dá)標(biāo)的基礎(chǔ)上,幫助企業(yè)實現(xiàn)降本增效,提升整體競爭力。

近年來,國家大力支持科技產(chǎn)業(yè)發(fā)展,積極推動半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的整合與優(yōu)化,鼓勵上下游企業(yè)加強合作與協(xié)同,形成完整的產(chǎn)業(yè)鏈生態(tài)。高頻科技作為本土超純水領(lǐng)域的重要力量,積極響應(yīng)國家戰(zhàn)略實施,未來將持續(xù)專注于超純工藝技術(shù)的研發(fā)與創(chuàng)新,致力于為客戶提供領(lǐng)先的超純水制備與循環(huán)使用方案,為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新發(fā)展貢獻(xiàn)力量。


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責(zé)任編輯:孫知兵

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