知識產權釋放高效價值，高頻科技超純工藝助力半導體發展“芯”征程

在數字化、網絡化、智能化引領的新一輪科技革命與產業變革不斷深化的背景下,半導體產業正迎來前所未有的發展機遇。超純水作為半導體行業重要一環,不僅保障了芯片制造的精度與可靠性,更推動了整個產業鏈向更高質量、更可持續的方向發展。高頻科技,作為一家聚焦于芯片制造等電子核心產業的超純水系統供應商,不斷以科研創新為驅動,推進超純工藝升級,助力行業發展邁向新高度。

超純技術突破,為半導體制造提供高品質解決方案

在芯片過程中,超純水被廣泛應用于清洗、蝕刻、沉積、光刻等多個關鍵步驟。一旦超純水中的雜質含量超標,將對半導體器件造成嚴重影響。比如TOC(總有機碳)過量可能導致晶圓表面污染,從而引發缺陷;硼過量會使n型硅反轉,從而影響電子和空穴的濃度,進而影響到硅材料的導電性能。因此,半導體企業對超純水水質的要求非常嚴苛,無形中提升了超純水工藝的技術門檻。

在此背景下,高頻科技作為本土超純水行業的代表性企業,依托資深技術團隊的力量,通過不懈的研發投入和工藝探索,公司超純水系統制備的超純水純度可達ppt級別,離子含量僅萬億分之一,從而打破了國際廠商對國內超純水系統高端市場的壟斷。公司不僅成為國內極少數能夠在芯片領域提供超純水系統的企業,更是國內首家擁有12英寸14nm芯片產線超純水制備能力的系統供應商。

作為國家級專精特新“小巨人”企業,高頻科技始終秉承技術創新為核心驅動力,持續深化知識產權布局。截至目前,公司已累計獲得70余項知識產權成果,包括發明專利、實用新型專利、軟件著作權等。未來,高頻科技將進一步加快技術創新步伐,為推動自身高質量發展提供更強有力的知識產權支撐,并為行業提供更高品質的超純水產品及解決方案。

技術創新,賦能半導體可持續發展

面對降本增效的發展需要以及全球范圍內日益嚴格的環境法規,半導體行業正邁向綠色、可持續發展。高頻科技深入研究和開發廢水處理及回用技術,顯著提高了水資源利用效率,有效支撐了節水和降本增效目標的實現,為半導體企業的轉型升級和持續發展提供了堅實的技術保障。

具體而言,高頻科技憑借先進的電子級廢水處理技術,高效、經濟地處理超過15種芯片廢水,并實現深度去除污染物;同時通過前瞻的設計能力和精細化的水資源管理,對30多道制程廢水進行分流和回收,并搭配適合的設備及工藝使其得到更佳處理效果,確保了高達90%的整廠用水制備回收率,在確保水質達標的基礎上,幫助企業實現降本增效,提升整體競爭力。

近年來,國家大力支持科技產業發展,積極推動半導體產業鏈的整合與優化,鼓勵上下游企業加強合作與協同,形成完整的產業鏈生態。高頻科技作為本土超純水領域的重要力量,積極響應國家戰略實施,未來將持續專注于超純工藝技術的研發與創新,致力于為客戶提供領先的超純水制備與循環使用方案,為半導體產業創新發展貢獻力量。

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