關(guān)注：中科飛測首臺(tái)晶圓平坦度測量設(shè)備出貨HBM客戶端
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人民財(cái)訊11月22日電，據(jù)中科飛測消息，近日，中科飛測首臺(tái)晶圓平坦度測量設(shè)備——GINKGOIFM-P300出貨HBM客戶端。GINKGOIFM-P300的成功推出，標(biāo)志著我國在該領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)了重大突破，打破了國外廠商的長期壟斷，突破國內(nèi)設(shè)備對(duì)超高翹曲晶圓、低反射率晶圓的量測限制，同時(shí)支持鍵合后晶圓、化合物半導(dǎo)體襯底(SiC/GaAs)的全參數(shù)檢測。
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